LCD、OLED生産ラインにおけるレジスト塗布後のベーク、導電膜アニール、カラーフィルタのポストベークプロセスなどインラインの熱処理工程に活躍する専用クリーンオーブン。第1世代ガラス基板から最大第10世代の装置に展開。より均一な熱処理や低パーティクル化を実現しています。ガラスの大型化による、装置の設置面積も縮小化を図り、貴重なクリーンルームスペースの有効活用にも貢献します。

• 槽内でのゴンドラ駆動により省スペース化を実現したガラス多段収納。
• 2重内槽構造と水平リターンダクト方式による高い温度分布性能を保証。
• 特殊耐熱フィルタの採用により低パーティクル化を実現。
• 搬送用ロボットと冷却部やローダ・アンローダ部をモジュール化。
• 用途に応じ、オプションをご用意。
  • アウターガス、昇華物処理対応
  • 窒素ガス導入対応。
    （低酸素濃度対応の製品については、低酸素クリーンオーブン（SCOシリーズ）をご覧ください）