パッケージレベルからウェーハレベルまで対応

ウェーハの大口径化、微細化、高集積化に伴い、単体トランジスタの信頼性評価の重要性が高まっています。
このシステムは、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、1台のPCでデータ収集、モニタリングなどの一元管理が可能です。