半導体特性評価システム AMM－2000 | 計測・評価システム半導体関連装置 | 製品 | 製品情報

半導体特性評価システム
AMM－2000

ウェーハの大口径化、微細化、高集積化に伴い、単体トランジスタの信頼性評価の重要性が高まっています。
このシステムは、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、1台のPCでデータ収集、モニタリングなどの一元管理が可能です。

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型式	AMM-C	AMM-W
測定プログラム	FET単体トランジスタ測定ライブラリ　48種
温度コントロール	恒温器（エスペック製小型環境試験器SU-661）	フル／セミオート／マニュアルプローバ（メーカはご相談ください）
温度コントロール	温度制御範囲-60 ～＋150℃	フル／セミオート／マニュアルプローバ（メーカはご相談ください）
SMU性能	電圧±50V/電流±100mA
DUTとのコネクション	DUTボードボード（ソケット6個）・DIP600mil 28pin ・DIP300mil 16pin 選択	ポジショナープローブカード（高温・微小電流用） ※レイアウトによりご提案いたします

高精度な電圧・電流印加と測定: マルチSMUの精度は±50V／ ±100mAの範囲で電圧2レンジ、電流9レンジを備え、1mV・1pAの分解能で広範囲に印加と測定が行えます。

FET単体トランジスタ特性からTDDB評価にも対応: FET単体トランジスタでは2端子（Drain・Gate）と4端子（Drain・Gate・Base・Source）の設定で、I-V特性やHCIやNBTIなどの評価が行えます。
また、オプションのTDDB評価用ソフトウェアを使用することで、TDDB・TZDB・SBD・QDB・I-V・BDVなどの評価が行えます。