350℃におけるエレクトロマイグレーション評価

半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、
より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、
デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで
幅広くご使用いただけるよう、操作性･信頼性･データ解析の容易さを高め、
評価ニーズに的確にお応えするシステムです。

主な仕様

ストレス電流源	出力範囲	＋DC0.1mA～200mA
	追従電圧	35V
Extrusion用 試験電圧	出力範囲	－10.0V～-1.0V及び1.0V～20.0V
	精度	±（設定値の2％＋20mV）
オーブン	温度制御範囲	＋65～＋350℃
	温度変動幅	±1.0℃（＋100℃）、±2.0℃（＋200℃）、±3.5℃（＋300℃）
	温度分布	±3.5℃（at300℃）

システムバリエーション

型式		AEM―240C3S AAA	AEM―160C2S 0AA	AEM―080C1S 00A
EMモジュール 出力電流	オーブン1	200mA	200mA	200mA
	オーブン2	200mA	200mA	-
	オーブン3	200mA	-
評価チャンネル数		240ch	160ch	80ch
DUTボード	設置枚数	24（8×3オーブン）	16（8×2オーブン）	8
	ICソケット	1ボードにつき各5（DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有）