エレクトロマイグレーション
評価システム
AEMシリーズ
機器概要
350℃におけるエレクトロマイグレーション評価
半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、
より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、
デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで
幅広くご使用いただけるよう、操作性･信頼性･データ解析の容易さを高め、
評価ニーズに的確にお応えするシステムです。
主な仕様
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| ストレス電流源 | 出力範囲 | ＋DC0.1mA～200mA |
|---|---|---|
| 追従電圧 | 35V | |
| Extrusion用 試験電圧 |
出力範囲 | －10.0V～-1.0V及び1.0V～20.0V |
| 精度 | ±（設定値の2％＋20mV） | |
| オーブン | 温度制御範囲 | ＋65～＋350℃ |
| 温度変動幅 | ±1.0℃（＋100℃）、±2.0℃（＋200℃）、±3.5℃（＋300℃） | |
| 温度分布 | ±3.5℃（at300℃） |
システムバリエーション
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| 型式 | AEM―240C3S AAA |
AEM―160C2S 0AA |
AEM―080C1S 00A |
|
|---|---|---|---|---|
| EMモジュール 出力電流 |
オーブン1 | 200mA | 200mA | 200mA |
| オーブン2 | 200mA | 200mA | - | |
| オーブン3 | 200mA | - | ||
| 評価チャンネル数 | 240ch | 160ch | 80ch | |
| DUTボード | 設置枚数 | 24（8×3オーブン） | 16（8×2オーブン） | 8 |
| ICソケット | 1ボードにつき各5（DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有） | |||
モニター画面
- モニター画面は一目で全DUTのテスト進捗状況、抵抗値、変化率などをリアルタイムに確認することができます。
試験条件設定画面では、一画面で全項目を入力、確認できます。
- モニター画面
解析ソフトウェア
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