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エレクトロマイグレーション
評価システム
AEMシリーズ

機器概要

350℃におけるエレクトロマイグレーション評価

半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、
より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、
デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで
幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、
評価ニーズに的確にお応えするシステムです。

主な仕様

左右にスクロールしてご覧ください。

ストレス電流源 出力範囲 +DC0.1mA~200mA
追従電圧 35V
Extrusion用
試験電圧
出力範囲 -10.0V~-1.0V及び1.0V~20.0V
精度 ±(設定値の2%+20mV)
オーブン 温度制御範囲 +65~+350℃
温度変動幅 ±1.0℃(+100℃)、±2.0℃(+200℃)、±3.5℃(+300℃)
温度分布 ±3.5℃(at300℃)
システムバリエーション

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型式 AEM―240C3S
AAA
AEM―160C2S
0AA
AEM―080C1S
00A
EMモジュール
出力電流
オーブン1 200mA 200mA 200mA
オーブン2 200mA 200mA -
オーブン3 200mA -
評価チャンネル数 240ch 160ch 80ch
DUTボード 設置枚数 24(8×3オーブン) 16(8×2オーブン) 8
ICソケット 1ボードにつき各5(DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有)

モニター画面

モニター画面は一目で全DUTのテスト進捗状況、抵抗値、変化率などをリアルタイムに確認することができます。
試験条件設定画面では、一画面で全項目を入力、確認できます。
モニター画面

解析ソフトウェア

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