400℃におけるエレクトロマイグレーション評価

半導体デバイス寿命は、この微細加工や新材料に依存するため、より過酷な寿命加速条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。
この寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメータを求める解析ソフトを搭載。
「エレクトロマイグレーション評価システムAEM―2000」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお応えするシステムです。

主な仕様

ストレス電流源	出力範囲	＋DC0.1mA～200mA
	追従電圧	35V
Extrusion用 試験電圧	出力範囲	－10.0V～-1.0V及び1.0V～20.0V
	精度	±（設定値の2％＋20mV）
オーブン	温度制御範囲	＋65～＋400℃
	温度変動幅	±0.5℃（＋65～350℃）
	温度分布	±3.5℃（at300℃）
	装備品	N2ガス導入孔

システムバリエーション

型式		AEM―240C3S AAA	AEM―160C2S 0AA	AEM―080C1S 00A
EMモジュール 出力電流	オーブン1	200mA	200mA	200mA
	オーブン2	200mA	200mA	-
	オーブン3	200mA	／
評価チャンネル数		240ch	160ch	80ch
DUTボード	設置枚数	24（8×3オーブン）	16（8×2オーブン）	8
	ICソケット	1ボードにつき各5（DIP 28-pin 600 mil and 300 mil共有）