低酸素オーブン

カスタム品

機器概要

近年、配線材は、抵抗値の低さからAL（アルミ）から Cu（銅）に変わりつつあります。それにともない、通常のオーブンで熱処理を行うとCu部分が酸化することなどから不具合が起こっています。
また、フラッシュメモリの書き込み内容が、エレクトロマイグレーションにより消去されないかどうかを検査する目的で、250℃のエージングを行いますが、この際、バンプ部が酸化してしまうため、酸素濃度を100ppm以下に下げる必要があります。
この要求に応えるべく開発されたのが、「低酸素オーブン」です。酸素濃度100ppm以下で350℃のエージング試験を行えます。

N₂ガスの使用量を大幅に削減: 器内の高密閉設計とN₂流量切替機構でN₂ガスの使用量を大幅に削減しました。
温度降下時間の短縮で処理時間を短縮: 器内冷却機構の新工夫により、温度降下時間を従来の3分の1以下に短縮しました。（240分→80分以内：参考値）これにより、試料を早く取り出すことができるようになり、処理時間を短縮することができます。

: プロファイル（例）

機器の構成

主な仕様

左右にスクロールしてご覧ください。

型式		IPHH-202MS
電源		AC200V 1φ 50/60Hz
最大消費電力		4.4kVA
方式		強制熱風循環
性能	温度範囲	（外囲温度 +50）℃～+300℃
	温度変動幅	±0.2℃ at 150℃以下 ±0.3℃ at 300℃以下
	温度分布	±1.5℃ at 150℃以下 ±2.5℃ at 300℃以下
	温度上昇時間	+50℃～+300℃まで70分以内
N2ガス	流体	N2ガス（常温・乾燥ガス）
	最低酸素濃度	100ppm以下（N2ガス流量40～200NL/minにおいて）
	ガス導入	口金リングジョイント3/8″型　継手
内容量		216ℓ
寸法	内法	W600×H600×D600mm（突起物含まず）
	外寸	W1190×H1711×D1040mm（突起物含まず）
	重量	250kg
計装	運転モード	定値運転、プログラム運転
	設定指示範囲	温度：0～+310℃ 時間：0～9999時間59分
	設定指示分解能	温度：1℃ 時間：1分

※性能は、周囲温度23℃、無試料の場合です。
※型式については、運用上の型式のため、ご注文後変更される場合があります。ご了承ください。

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