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THB評価システム

機器概要

THB評価システムは、車載用半導体など、民生用半導体に比べ過酷な条件下で高い信頼性を実現する為に、高温高湿下で電圧印加をおこなう信頼性試験装置です。
85℃/85%RH条件下でデバイス発熱負荷を最大300Wまで許容します。
ご要望により各種スタティックバーンインへの対応、温湿度範囲、試験数量など最適なシステムをご提案します。

特長・用途
  • 広範囲で高精度な温湿度制御を実現
    無段階制御の電子式自動膨張弁を搭載した冷凍システムにより、通常の85℃/85%RH環境のみならず、広範囲な温湿度範囲において高精度な制御を実現しています。
  • 高い発熱下でも高精度の温湿度制御が可能
    大風量のシロッコファンの採用、温度分布を考慮した槽内ラック構造など、デバイス発熱最大300Wにおいても、高精度の試験を行うことが出来ます。(85℃/85%RH時 許容発熱 300W)
  • 低騒音化を実現
    チャンバーから発生する騒音の大部分を占める排熱ブロアに、低騒音型のファンを採用し、設置環境の改善にも大きく貢献しています。
  • 環境に配慮したものづくり
    リサイクルを配慮した設計、オゾン層破壊係数ゼロのHFCフロン使用、省スペースを実現した天井排熱方式(空冷式)など環境に配慮した製品となっております。
外観/システムブロック図(例)
仕様

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項目 仕様
温度/温湿度範囲 -10~+100℃/50~95%RH
温湿度分布性能 ±2℃/±5%RH(無試料時)
許容発熱負荷 300W(85℃/85%RH)
外法
1 チャンバー本体
2 システムラック
幅1583 高さ1970 奥行1347mm
幅530 高さ1810 奥行1200mm
DUT電源仕様 ご要望に応じます
クロック仕様 ご要望に応じます
DUT電源投入遮断 プログラムによるシーケンス動作設定可能
バーンインコントローラ (タッチパネル) 1 バーンイン時間設定
2 バーンイン残時間のモニタ
3 ゾーン別のDUT電源及びクロック信号ON/OFF及び動作シーケンス
4 試験途中での試料取り出し機能

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