半導体特性評価システム_AMM-2000

高精度な測定・評価により、信頼性を追求「半導体パラメトリック評価システム」。ウェーハの大口径化、微細化・高集積化により信頼性評価の重要性も飛躍的に高まってきています。エスペックの「半導体パラメトリック評価システム」は、パッケージレベルからウェーハレベルまでを、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の解明に重要な役割を果たします。


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システムブロック図(パッケージレベル)PCラック小型環境試験器(最大3台)小型環境試験器小型環境試験器RS-485コンバーターRS-485槽内ラックRS-232CホストコントローラーEthernetスイッチングハブEthernet無停電電源DUTボード(最大3枚)トライアキシャルケーブルRS-485RS-485(内容は左記と同じ)(内容は左記と同じ)キャビネットラック(最大3台)マルチSMUCPUモジュールロジック制御バスSMモジュールSMU4回路(最大9枚)キャビネットラックキャビネットラック(内容は左記と同じ)(内容は左記と同じ)槽内ラックDUTボードを固定するための3段ラック。SMモジュールの各ソース・モニター回路から、トライアキシャルケーブルで接続。恒温器(エスペック製小型環境試験器SU-661)・・・・セットするためのボード。DUTボード用ジャンパー線DUTボード用ショートコネクターDUTボードICパッケージ形状のDUTをチャンバー内にDUTボード上の配線パターンとICソケットのピンの配線用。DUTを挿抜する際に、DUTが静電破壊するのを防ぎます。CPUモジュールマルチSMU9枚のSMモジュールと1枚のCPUモジュールを内蔵。ユニット内のCPUモジュールとSMモジュールの間は、ロジック制御バスで接続。また、AC入力/DC出力の電源装置を複数内蔵し、各モジュールへDC電源電圧を供給。・・マルチSMU外部の機器と、マルチSMU内部の回路とのインターフェイスを行うプリント配線板モジュール。外部からの制御信号を受けて、各SMモジュールを制御します。1枚あたり4個のソース・モニター回路を内蔵するプリント配線板モジュール。SMモジュールホストコントローラー試験管理、統計解析を行います。無停電電源(ホストコントローラー用)停電時、自動的に中断処理を行い、復電後中断時点から再開できる状態にします。RS-485コンバーターホストコントローラーからのRS-232信号を、RS-485信号に変換します。スイッチングハブ10BASE-T/100BASE-TXに対応したイーサネット・スイッチ。ホストコントローラーと複数のSMU(CPUモジュール)との間のネットワーク接続用。11


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