半導体特性評価システムAMM
高精度な測定・評価により、信頼性を追求した半導体パラメトリック評価システムです。ウェーハの大口径化、微細化、高集積化により信頼性評価の重要性も飛躍的に高まってきています。エスペックの「半導体パラメトリック評価システム」は、パッケージレベルからウェーハレベルまでを高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の解明に重要な役割を果たします。
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