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中継ユニットSMモジュールの各ソース、モニター回路とプローブカードをトライアキシャルケーブルで接続。オートプローバ用セミオートプローバ用をご用意しています。12プローバプローブカードウェーハ中継ユニットトライアキシャルケーブルトライアキシャルケーブル第2キャビネットスイッチングハブ第3キャビネットスイッチングハブマルチSMU(最大3マルチSMU)(内部は上記と同じ)マルチSMU(最大3マルチSMU)(内部は上記と同じ)システムブロック図(ウェーハレベル)第1キャビネット(最大3台)Ethernetホストコントローラー(第1キャビネットのみ)マルチSMU(最大3マルチSMU)スイッチングハブCPUモジュールロジック制御バスSMモジュールSMU4回路(最大9枚)GPIBトライアキシャルケーブル無停電電源ホストコントローラー試験管理、統計解析を行います。GPIBボード内蔵無停電電源(ホストコントローラー用)停電時、自動的に中断処理を行い、復電後中断時点から再開できる状態にします。スイッチングハブ10BASE-T/100BASE-TXに対応したイーサネット・スイッチ。ホストコントローラーと複数のSMU(CPUモジュール)との間のネットワーク接続用。CPUモジュールマルチSMU9枚のSMモジュールと1枚のCPUモジュールを内蔵。ユニット内のCPUモジュールとSMモジュールの間は、ロジック制御バスで接続。また、AC入力/DC出力の電源装置を複数内蔵し、各モジュールへDC電源電圧を供給。・・マルチSMU外部の機器と、マルチSMU内部の回路とのインターフェイスを行うプリント配線板モジュール。外部からの制御信号を受けて、各SMモジュールを制御します。SMモジュール1枚あたり4個のソース・モニター回路を内蔵するプリント配線板モジュール。
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