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共通ソフトウェア仕様●システムプログラム(試験管理ソフトウェア)1.ウェーハマップとプローブカードの設定を自由に管理できます。2.試験設定は、測定プログラムに合わせて条件を入力し3.試験の稼働状態は、ウェーハマップ上にて表示され、状保存管理できます。態は色判別が可能です。●統計解析ソフトウェア収集したデータを試験終了したウェーハマップから呼び出し、データをロードすることができます。個別データもエクスプローラー上からドラッグアンドドロップにて簡単表示できます。一次データはもちろん、グラフの作成も簡単に表示します。〈試験管理〉●測定パラメーター設定●試験条件設定●稼働状況画面●試験中〈統計処理〉●ワイブル確率紙●マップデータ表示●一次データ表示とステップデータ●その他の統計表示プロット●ゲート電圧—時間特性●電界強度—時間特性●破壊までの注入荷重ヒストグラムウェーハマップワイブルプロット●破壊の起こった電界強度ヒストグラムウェーハマップワイブルプロット●ゲート電流—電圧特性●電流密度—電界強度特性●破壊電界強度ヒストグラムウェーハマップワイブルプロットFowler-Nordheimプロットなど9
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