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測定プログラム●定電圧測定●ステップ電圧測定(I-V特性測定、TZDB法)一定電圧ストレス印加し、測定を行ない測定電流と破壊時間を保存します。電圧を階段状に増加させながら印加し、各電圧での電流を測定します。Emax・ToxまたはJmaxに達した電圧dtdVG時間印加電圧-Vfb測定時間0印加電圧●ソフトブレイクダウンストレス印加電圧と測定電圧を変えてデータを取得します。測定電圧は10段階の設定が行えます。●ステップ電流測定(TZDB)電流を段階状に増加させながら印加し、電圧の時間的変化を測定します。故障と判定すると試験を終了します。8時間TmaxTmaxになっても破壊が検出されない場合は測定終了測定開始tPBD秒まで電界EGがEPBD[MV/cm]以下の場合、Prebreakdownとする連続する2測定値の差がV以上でかつEPBD以下で破壊とする時間Jminになる電流0測定値の例0測定電圧印加電流(logスケール)Jmax・A時間EG●電流ストレス測定一定の電流を印加、電圧測定し故障時間を記録保存します。電流一定(一定電流密度印加)Qbd=印加電流密度×故障時間測定電流0印加電圧連続する2測定値の比がEG電界強度比以上ある場合破壊と規定t時間「秒」
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