半導体特性評価システム_AMM-2000

高精度な測定・評価により、信頼性を追求「半導体パラメトリック評価システム」。ウェーハの大口径化、微細化・高集積化により信頼性評価の重要性も飛躍的に高まってきています。エスペックの「半導体パラメトリック評価システム」は、パッケージレベルからウェーハレベルまでを、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の解明に重要な役割を果たします。


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48種類の豊富な測定ライブラリ測定ライブラリの選択とパラメーターの詳細設定により測定プログラムの作成が行えます。また、測定ライブラリ内に必要な試験項目がない場合には、オリジナルライブラリの新規作成も可能です。さらに、RelaxationTimeのないOnTheFlyテストや、DUT毎に試験が行えるシーケンシャル測定モードと、グループ単位で並列に測定を行う標準モードがあります。測定間隔の設定測定期間・間隔を、秒・時間で、7ブロックに分けて設定することができます。①FETトランジスタ特性試験機能●測定プログラム[FET単体トランジスタ測定ライブラリ]1.Ids測定2.Ids1測定3.Ids1-Ig測定4.Ids1-Ib測定5.Ids1-Is測定6.Isubs測定.Isubmax測定78.IsubmaxVg9.BVdss測定10.BVdss2測定11.BVdss3測定12.Vth測定13.CCVth測定14.gm測定15.Vth-W/L測定16.SaturationVth測定17.SaturationCCVth測定18.Beta測定19.Vth1測定20.CCVth1測定21.Gm1測定22.Vth1-W/L測定23.Linear_Vth1測定24.β1測定25.Linear_CCVth1測定26.Linear_Vth1-W/L測定27.Linear_Vth2測定28.Swing測定29.V0測定30.Isubth測定31.Saturation_Vth1測定32.Saturation_β1測定33.Saturation_CCVth1測定34.Saturation_Vth1-W/L測定35.Saturation_Swing測定36.Saturation_V0測定37.Saturation_Isubth測定38.Igleak測定39.Igmax測定40.IgmaxVg測定41.γ測定42.Vf1測定43.Vf2測定44.Vf3測定45.Vf4測定46.Vf5測定47.R-Messure1測定48.R-Messure2測定パラメーターの測定間隔ブロック各ブロックの期間(単位S(秒)、H(時)から選択)Sの範囲Hの範囲測定間隔(リニア)固定レンジ最小0.1オートレンジ最小1単位S:単位H:最小0.1H単位S:最小10単位H:最小0.112固定レンジオートレンジ0.1~100sec1~100sec0.1~ブロック2or試験期間100~ブロック3or試験期間ブロック2~ブロック3or試験期間3~7ブロック3~次ブロックor試験期間ブロック3~次ブロックor試験期間5


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