半導体特性評価システム_AMM-2000

高精度な測定・評価により、信頼性を追求「半導体パラメトリック評価システム」。ウェーハの大口径化、微細化・高集積化により信頼性評価の重要性も飛躍的に高まってきています。エスペックの「半導体パラメトリック評価システム」は、パッケージレベルからウェーハレベルまでを、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の解明に重要な役割を果たします。

半導体特性評価システムAMM-20001台のPCですべての試験を一元管理ホストコンピュータで試験温度(-60℃～+150℃)から電圧印加・測定、データ収集、モニタリング(ウェーハの画面分布表示、チャンバーの温度制御)などを、一元管理できます。解析用アプリケーションソフトウェアを用意試験の進行状況や測定値の変化を自動更新でリアルタイムに確認できます。測定後には測定結果からワイブルプロットの作成や寿命測定が行えます。Excelなどの表計算ソフトウェアなどのデータ変換も行えます。試験開始時の静電破壊を回避人体からの静電気を回避するために、ショートコネクタを用意し、FETへのダメージを防ぎます。さらにDUTボード上の配線はノイズの影響を受けないようにソケット元までガードリングされています。(パッケージレベル評価)専用のDUTボードDIP600mil28pin、DIP300mil16pin、の耐熱ソケットをご用意しています。プローブカード(オプション)要求仕様に合わせ、最適なプローブカードをご提案いたします。ショートコネクタ付DUTボード(槽内)DUTボードプローブカード(一例)4