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ホストコンピュータ計装ラック(オプション)クロック設定器システム制御インターロック回路バッファ回路電源装置ディジタルパネルメータ断熱部中継ボードバーンインボードチャンバーコントローラチャンバー制御保安回路システムブロック図●スタティックバーンインシステムブロック図(RBS-A1シリーズ)●クロックバーンインシステムブロック図(RBS-B1シリーズ)ホストコンピュータチャンバー計装ラック(オプション)チャンバーパワーシーケンスユニットシステム制御インターロック回路ディジタルパネルメータ電源装置電圧設定ユニット表示ランプチャンバー制御保安回路過電流しゃ断警報ユニット電源インターロック回路断熱部中継ボードバーンインボードチャンバーコントローラタイマ仕様●性能タイプ温度範囲温度分布温度上昇時間温度下降時間※Uタイプは、2型のみHタイプ+70〜+150℃Mタイプ+20〜+150℃Lタイプ-30〜+150℃Uタイプ-55〜+150℃±3℃+40℃〜+125℃まで45分+125℃〜+50℃まで40分+125℃〜+20℃まで40分+20℃〜-30℃まで60分+20℃〜-55℃まで60分●許容発熱量・寸法00型0型チャンバー型式許容発熱量バーンインボードサイズ(áo)0.5kW0.75kWWL2913302916101型1kW4503302型3型1.25kW4506104503304型2.5kW450610ラック構成(ボードピッチ40áo)16段×1列32段×1列内法(áo)外法(áo)WHDWHD3807003708602050125038070065086020501530620700370114020501250620700650114020501530620134037011402050125062013406501140205015307型2kW29133092013403701440205012508型4kW2916109型2.5kW45033032段×2列92013406501440205015301240134037017602050125010型5kW4506101240134065017602050153011型3kW45033012型6kW45061032段×3列1860134037023802050125018601340650238020501530オプション●電圧設定ユニットディジタル設定3桁●パワーシーケンスユニットタイミング半固定●ディジタルパネルメーター●電源インターロック回路●パワーオン・オフタイマ●ゾーン数●温度記録計●ネットワーク1、2、3、4、5、6、8、12、16ゾーン
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