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スタティックバーンインシステムからクロックバーンインシステムへの拡張性を備えて半導体デバイスの信頼性試験や初期段階における故障を除去するスクリーニング法のひとつとして、ますます重要性が高まるバーンイン。スタティックバーンインは、半導体デバイスやアセンブリされた電子機器に温度や種々の電気的ストレスを加え、表面汚染や入力回路劣化のある初期故障品の除去に効果を発揮します。スタティックバーンインシステムは、新しく発熱負荷時の温度分布性能の向上、自動化への対応、さらに省エネルギー化をはじめ、フロン規制への対応やリサイクルに配慮したスタイルでお届けいたします。特長最適システムの導入が行えますデバイスの種類や処理量、温度範囲、自動化への対応など数々のニーズにお応えできる豊富な器種バリエーションを用意。シリーズ構成はスタティックバーンインシステム専用のA1シリーズ、クロックバーンインシステム対応のB1シリーズ。目的や用途に応じた最適システムの導入が行えます。フェイルセーフで充実した安全・保安対策バーンインボードや電源供給ラインで過電流が流れた場合、ボード毎に電源を遮断するとともに警報表示を行います。また、チャンバー側にトラブルが発生した場合は、チャンバーの運転を停止し供試デバイスの電源装置の出力を下げ、システムの安全を確保します。また、クロックバーンインシステムにおいてクロックボードのDUT電源に過電流が流れた場合は、過電流保護用ヒューズにより電源を遮断し、警報を表示します。電圧降下の少ないバスバー配線を採用十分な線経のバスバー配線を採用し、電圧降下の少ない電源供給でつねに安定したバーンインが行えます。リモート可変用電源を4種類搭載電源ノイズが少ないリモート可変電源4種類(V1〜V4)を備えています。これにより、電圧レベルを任意に可変設定することができます。(クロックバーンインシステムのみ対応)
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