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仕様●性能タイプ温度範囲温度分布温度上昇時間温度下降時間※Uタイプは、2型のみHタイプ+70〜+150℃Mタイプ+20〜+150℃Lタイプ-30〜+150℃Uタイプ-55〜+150℃±3℃+40℃〜+125℃まで45分+125℃〜+50℃まで40分+125℃〜+20℃まで40分+20℃〜-30℃まで60分+20℃〜-55℃まで60分7型2kW29133092013403701440205012508型4kW2916109型2.5kW45033032段×2列92013406501440205015301240134037017602050125010型5kW4506101240134065017602050153011型3kW45033012型6kW45061032段×3列1860134037023802050125018601340650238020501530●許容発熱量・寸法00型0型型許容発熱量バーンインボードサイズ(áo)0.5kW0.75kWWL2913302916101型1kW4503302型3型1.25kW4506104503304型2.5kW450610380700650860205015306207003701140205012506207006501140205015306201340370114020501250620134065011402050153038070037086020501250WHDWHD内法(áo)外法(áo)ラック構成(ボードピッチ40áo)16段×1列32段×1列型式RBC-□3□□□オプション●温度記録計●抜去装置●挿抜装置●排気水冷●自動扉●キャリアラック対応●煙感知器●N2ガス/ドライエアー導入●本体扉スイッチ●非常スイッチ●シグナルタワー●サービスコンセント●指定色●CEマーキング対応●SEMI規格●異電圧仕様温度範囲H:+70℃〜+150℃M:+20℃〜+150℃L:-30℃〜+150℃U:-55℃〜+150℃コントロールラック有無R無印:ラック無し+R:単体※単体ラックの場合の記号は、温度範囲の後に記入チャンバー異形サイズK:幅寸法異形:ラック一体型チャンバー型式00:00型0:0型1:1型2:2型3:3型4:4型7:7型8:8型9:9型10:10型11:11型12:12型3
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