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エレクトロマイグレーション評価システムHALT試験装置AI対応デバイスの微細配線化が進む中で、電気抵抗やエレクトロマイグレーションに対する耐性の向上としてタングステンやコバルトが注目され、450℃下における低電流印加精度(0.1nA〜50mA)の評価として対応可能な評価装置です。■AEMストレス電流源オーブン温度制御範囲DUT処理数+0.1nA〜50mA+0.1mA〜50mA+0.1mA〜200mA+0.1mA〜500mA:出力範囲::最大300DUT(100DUT/槽×3槽)+65℃〜+400℃(オプション:450℃)スポット冷却加熱装置HALT(HighlyAcceleratedLimitTest)は、急速温度変化や6自由度ランダム振動などの厳しいストレスを与え、短時間で設計的な弱さや製造要因に対するロバスト性が小さい故障を顕在化させ、不具合をいち早く取り除くための試験ツールです。実施することで、開発サイクルの短縮、製品保証費の削減の効果が期待されます。1980年代に米国で発案され、欧米を中心に航空機、自動車、電気製品の試験ツールとして採用しています。装置名温度範囲温度変化率加速度振動テーブル耐荷重テーブル寸法内法:Typhoon2.5+Inferno:-100℃〜+250℃::5Grms〜75Grms※::W762×D762mm:W889×H889×D889mm※供試品によって、温度変化率/振動加速度範囲が制限されます。70℃/minaverage※145kgスポット冷却加熱装置は100℃/分の温度変化速度を有しており、先端のアタッチメントを交換することで、温度環境下での半導体・電子部品の各種評価試験や材料試験の効率化など様々な用途でご活用いただけます。型式吹出温度制御範囲(吹出温度設定範囲)安定時温度変動温度変化速度圧縮空気源(0.55〜1.0MPa)※露点温度-60℃以下、空気温度30℃以下MTA-171(先端ヒーターモデル)::-40℃〜+180℃(-60℃〜+200℃):±1.0℃:100℃/分:140NL/min〜200NL/min29
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