エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ(Japanese)

350℃におけるエレクトロマイグレーション評価。半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお答えするシステムです。


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200mAまでの電流ストレス印加0.1mA〜200mAのストレス電流印加が行えます。二重コンタクト構造の高信頼性ボード(特許第4304189号)DUTボードとソケットの接続部は、二重コンタクト構造により確実な固定を実現。さらにDUT抜けを防止するエスペック独自の工夫をしています。これらの構造により、高温下での長時間の評価にも対応でき高い信頼性を確保しています。※ソケットは350℃タイプ(300mil、600mil共用)が標準装備。250℃タイプ(600mil専用)もご用意しております。(オプション)●キャビネット(240chタイプ)●キャビネット(240chタイプ)1キャビネット3オーブンで、240chの評価試験が可能1オーブンにDUTボードが8枚、DUTボード1枚に、5個のICソケットを搭載しています。1ソケットあたりDUTを2個搭載でき、2サンプルの試験が可能です。1オーブンでは、最大80DUTの評価試験が行えます。最大1200DUT(1200ch)の評価を1台のホストPCで管理します。No.1オーブンNo.オーブンNo.1オーブンNo.2オーブンNo.3オーブンNo.3オーブン高温350℃の高精度オーブン試験温度は350℃を実現し、300℃において分布は±3.5℃の高精度を発揮。オーブンごとに異なる温度条件で評価を行えます。ーブン毎に温度設定オーブン温度範囲:+65〜+400℃DUT数:温度範囲:+65〜+400℃DUT数:ーブン毎に温度設定オーブン最大80最大80オオ80DUT80DUT80DUT80DUT80DUT80DUT240chタイプICソケットICソケットDUTボード:サイズ:W220×H465×D460㎜重量約1.6㎏ピンアサインスクランブルボードピンアサインスクランブルボードピンアサインスクランブルボードピンアサインスクランブルボードICソケットICソケットPerformance●DUTボードICソケット250℃タイプ(オプション)ICソケット250℃タイプ(オプション)350℃タイプ(標準)3


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