エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ（Japanese）
350℃におけるエレクトロマイグレーション評価。半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお答えするシステムです。
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