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コンデンサ温度特性評価システム(誘電特性評価システム)低酸素クリーンオーブンSCOシリーズ半導体製造に欠かせないポリイミドの熱処理工程において、400℃を超える高温と超低酸素環境を実現。これにより、製品品質の安定化と不良率の低減を図ります。高精度な温度分布によって、均一な絶縁膜の形成が可能となり、歩留まりの向上や工程の効率化に貢献します。対応ウェーハサイズ温度範囲温度分布クリーン度酸素濃度150mm〜450mm:+70℃〜+500℃::±4.5℃(at350℃)±7.0℃(at500℃)(制御温度に到達後35分時点において)温度変化時においてもクラス100(粒径0.5μm以上)::10ppm(写真はシステム例)コンデンサを中心にプリント基板、絶縁材料など各種電子材料の静電容量、tanδ、インピダンスの温(湿)度特性、周波数特性、経時変化を自動計測できます。::::交流4端子対測定(計測ケーブル先端)最小1分〜1500分(定値運転時)測定周波数静電容量(C)損失係数(D)インピーダンス(Z)10Ω、100Ω、300Ω、1kΩ、3kΩ、10kΩ、30kΩ、100kΩ、AUTO20Hz〜1MHz50pF〜5mF0.0001〜9.999910mΩ〜100MΩ■AMQ測定方法測定間隔測定範囲測定レンジ31
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