エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ(Japanese)

350℃におけるエレクトロマイグレーション評価。半導体デバイスの寿命は、進歩する微細化に伴い、より過酷な条件下でのエレクトロマイグレーション評価が重要になっています。寿命加速要因となる温度と電流ストレスによる高精度な測定に、デバイス寿命を導くために必要なパラメーターを求める解析ソフトを搭載。「エレクトロマイグレーション評価システム AEMシリーズ」は、先端評価から生産管理まで幅広くご使用いただけるよう、操作性・信頼性・データ解析の容易さを高め、評価ニーズに的確にお答えするシステムです。


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システムブロック図ホストPCテストユニット無停電電源EthernetEMモジュールCPUロジック制御バスLANホストPC電流・電圧計アナログモニターバスEthernetメジャーPC無停電電源定電流源RS-485ホストPC●ホストPC●無停電電源テストユニット●EMモジュール●メジャーPC●無停電電源ソフト:WindowsOS試験設定および試験のモニタ管理、データ解析ホストPC用DUT用電源を制御し、DUTの抵抗を測定する部分定電流源は、1chに1電源搭載測定したデータの集計と計測制御メジャーPC用オーブンユニットオーブンDUTボード(最大8枚)温度コントローラー計測ケーブルコネクションボードオーブンユニット●オーブン温度範囲+65〜+350℃●コネクションボードDUTボードと接続されるボード。DUTのピンスクランブル機能を有します。付属品●DUTボード(1オーブンにつき8枚)●セットアップCD●ユーザーズマニュアル●抵抗チェックボード(1枚)安全装置●漏電遮断器●上・下限温度警報●バーンアウト検出回路●独立型温度過昇防止器●ウォッチドッグタイマーによるPCフリーズ検知●シグナルタワー●非常停止スイッチ(テストユニット)オプション●DUTボード・+350℃用(標準付属品と同等)・+250℃用(DIP28pin/600mil)●抵抗チェックボード●統計処理ソフト追加ライセンス●温度記録計(100mm6打点式)●ペーパーレスレコーダー(外部取付タイプ)●N2ガス導入孔●ダウントランス(外付け)8


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