>> P.5
器内温度+300(℃)1000ダンパー全閉ダンパー全閉ダンパー全閉ダンパー全閉ダンパー全開ダンパー全開プログラム設定値プログラム運転での測定値特長●プログラム運転時の清浄度クリーンオーブンPVHC-232Mの清浄度高性能クリーンオーブンPVHC-232MSの清浄度+200+10003060901201501802102402703003303603900420経過時間(分)5004003002001000●安全装置漏電遮断器配電室カバースイッチ扉スイッチ温度ヒューズ送風機温度スイッチ加熱器配線用遮断器上・下限温度警報機能(温度調節器内蔵)温度過昇防止器ガラス管ヒューズ試料電源制御端子・・・・・・・・・・※上記性能は、代表例として紹介いたします。熱処理の全工程にわたって自動運転が可能な高性能タイプ温度上昇→処理→温度下降の全工程にわたって自動運転が行えるように自動ダンパーを標準装備しています。温度上昇・下降時にも高いクリーン度を実現する高性能タイプ高性能クリーンオーブンは+150℃以上の高温度での温度上昇・下降時においても安定したフィルター性能を発揮する高温型HEPAフィルターを採用し、全温度域を通じて高いクリーン度を実現。配向膜やフォトレジストの乾燥など、液晶生産時の熱処理などに活躍します。きめ細やかな安全対策温度調節器には設定温度+10℃の自動温度過昇防止機能と任意設定の上・下限温度警報機能を備えるとともに、チャンバー側にも独立した温度過昇防止器を標準装備。異常発生時には計装画面にアラームナンバーを表示し警報ブザーでお知らせします。4器内清浄度(1cfあたりの0以上の粒子数).5μm
| < 
| 
> | 
>>
