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酸化膜の信頼性評価に

高密度化・高機能化が進むLSIの信頼性に大きく関わる評価として、酸化膜の信頼性評価が求められています。
このシステムは、ウェーハをはじめガラス基板やパッケージレベルでの薄膜化による絶縁酸化膜の耐性の低下や、酸化膜の特性と平坦化による故障原因の解明に大きな役割を果たします。

主な仕様
電圧/電流印加範囲 -50V ~+50V /-100mA ~+100mA
分解能 1mVステップ/ 1pAステップ
電圧/電流測定範囲 -50V ~+50V /-100mA ~+100mA
SMU数 36SMU単位(最大324SMU)