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  • 機器概要
  • 特長

パッケージレベルからウェーハレベルまで対応

ウェーハの大口径化、微細化、高集積化に伴い、単体トランジスタの信頼性評価の重要性が高まっています。
このシステムは、高精度な電圧・電流印加とFET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、1台のPCでデータ収集、モニタリングなどの一元管理が可能です。

主な仕様
型式 AMM-C AMM-W
測定プログラム FET単体トランジスタ測定ライブラリ 48種
温度コントロール 恒温器
(エスペック製小型環境試験器SU-661)
フル/セミオート/マニュアルプローバ
(メーカはご相談ください)
温度制御範囲-60 ~+150℃
SMU性能 電圧±50V/電流±100mA
DUTとのコネクション DUTボードボード(ソケット6個)
・DIP600mil 28pin
・DIP300mil 16pin
選択
ポジショナー
プローブカード(高温・微小電流用)
※レイアウトによりご提案いたします